顯示領(lǐng)域:廣泛應(yīng)用于液晶顯示器(LCD)、有機發(fā)光二極管顯示器(OLED)等顯示器件的制造,用于形成透明導(dǎo)電薄膜,提高顯示器的性能和質(zhì)量。
集成電路(IC)制造
用途:作為金屬互連層或接觸電極材料,用于芯片內(nèi)部的導(dǎo)電線路、晶體管電極等關(guān)鍵部位。
優(yōu)勢:銦的低熔點和高延展性使其易于加工成極薄的薄膜,滿足納米級制程對材料精度的要求。
防護措施
個人防護:操作時佩戴防靜電手套、護目鏡,避免直接接觸銦靶(銦金屬,但粉塵吸入可能刺激呼吸道,需在通風(fēng)良好環(huán)境下操作)。
防火防爆:銦粉或碎屑屬于可燃固體(引燃溫度約 200℃),需遠離明火,廢棄靶材及碎屑應(yīng)收集于專用容器中,按危險廢棄物處理。
電磁屏蔽:射頻濺射時需確保設(shè)備接地良好,防止電磁輻射對操作人員或周邊儀器的干擾。
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