光伏領(lǐng)域:在薄膜太陽能電池中,銦靶材可作為光吸收層形成用的濺射靶,如 Cu-In-Ga-Se 系(CIGS 系)薄膜太陽能電池,有助于提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。
. 光通信器件
應(yīng)用:在光纖連接器、光調(diào)制器中作為鍍膜材料,提升光學(xué)元件的信號傳輸效率和穩(wěn)定性。
場景:數(shù)據(jù)中心高速光模塊、5G 前傳網(wǎng)絡(luò)的光器件制造。
濺射時間與沉積厚度
厚度監(jiān)控:使用石英晶體微天平(QCM)實時監(jiān)測薄膜沉積速率,結(jié)合靶材消耗速率(約 0.1~0.5 μm/min,與功率相關(guān)),控制濺射時間。
靶材利用率:避免過度濺射導(dǎo)致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 時需及時更換),通常平面靶材利用率約 30%~40%,旋轉(zhuǎn)靶可提升至 60% 以上。
防護措施
個人防護:操作時佩戴防靜電手套、護目鏡,避免直接接觸銦靶(銦金屬,但粉塵吸入可能刺激呼吸道,需在通風(fēng)良好環(huán)境下操作)。
防火防爆:銦粉或碎屑屬于可燃固體(引燃溫度約 200℃),需遠離明火,廢棄靶材及碎屑應(yīng)收集于專用容器中,按危險廢棄物處理。
電磁屏蔽:射頻濺射時需確保設(shè)備接地良好,防止電磁輻射對操作人員或周邊儀器的干擾。